产品详情
  • 产品名称:重庆强势供应日本日立HITACHI日立高解析度FEB测量装置

  • 产品型号:CS4800
  • 产品厂商:日立HITACHI
  • 产品价格:0
  • 折扣价格:0
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单先容:
重庆强势供应日本日立HITACHI日立高解析度FEB测量装置 重庆强势供应日本日立HITACHI日立高解析度FEB测量装置
详情先容:
日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM)  的详细先容

  • 日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM) 搭载日立***技术的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圆的CD测量,提供高解析度的SEM成像,更高的测量精度和快速自动化操作,将有助于提高客户现有生产线的生产力。此外用户可以通过简单的操作处理自动搬送两种不同尺寸的晶圆。 日立计划支撑对应碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等各种材料的晶圆,以满足客户对半导体电子器件生产的多样化需求。 成都西野供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM)
  • 考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和GUI*1
  • 通过**设备的研发经验,搭载了高精度测量技术和*新的计量应用。
  • 通过光学轴自动化调整,减少了由于操作员熟练度而造成的测量偏差。
  • 更高的图像处理技术,实现Recipe自动测量并提高产能。
  • 新的晶圆搬送系统兼容4,6,8英寸多尺寸晶圆。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的App操作系统。

测量精度 1nm(3σ)(采用日立标准晶圆)
晶圆尺寸 直径 100mm, 150mm, 200mm
自动装片装置 2个
设备尺寸(主体) 1180(宽)× 2500(长)× 1990(高)毫米

标题:
内容:
联系人:
联系电话:
Email:
企业名称:
联系地址:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

粤公网安备 51012402000291号

XML 地图 | Sitemap 地图