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西南供应日本日立HITACHI基于设计数据的计量系统

日期:2021-09-22 04:57
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摘要:西南供应日本日立HITACHI基于设计数据的计量系统 西南供应日本日立HITACHI基于设计数据的计量系统
供应日本日立HITACHI基于设计数据的计量系统  的详细先容

提高生产性以及测量程式质量

  • 可不使用晶片及测长SEM,离线作成测量程式
  • 可仅通过制定计测点及测长方法,自动作成测量程式
  • 可不依赖于操编辑的技术,作成统一质量的测量程式
  • 采用服务器&客户端方式


利用设计数据自动作成测长SEM测量程式

「DesignGauge-Analyzer」特点

  • 对CG5000中取得的SEM图像进行再次测长
  • 具备可通过SEM图像查阅及表格形式进行测长结果确认等数据分析功能
  • 使用测长算法的Contour(模型形状的轮廓线)提取功能(Contour:可选功能)


粤公网安备 51012402000291号

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